硅酸盐通报

2020, v.39;No.285(06) 1949-1953

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工艺参数选择对石英玻璃刻蚀性能的研究
Etching Performance of Quartz Glass by the Choice of Process Parameters

张文琼;方亮;

摘要(Abstract):

采用ICP601型刻蚀机,对石英玻璃进行刻蚀,结果表明,随着气压增大,刻蚀速率增大,0.5 Pa时,刻蚀速率达到峰值50 nm/min,而后随着气压的增大,刻蚀速率降低。0.5 Pa气压下的石英玻璃微槽底部平直,"长草现象"逐步消失。随着功率的增大,刻蚀速率变快。通过不同玻璃材料的刻蚀,可以看出,在采用SF_6刻蚀剂的情况下,K9玻璃的刻蚀速率大于石英玻璃的刻蚀速率,GG17耐高温玻璃的刻蚀速率小于石英玻璃的刻蚀速率。本研究可为玻璃微器件制备提供工艺参考。

关键词(KeyWords): 石英玻璃;等离子体;刻蚀;气压

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 福建省漳州市自然科学基金(ZZ2018J27);; 厦门大学嘉庚学院预研究项目(YY2019L03)

作者(Author): 张文琼;方亮;

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参考文献(References):

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